振鏡式Nd :YAG固體激光打標機由如下九個部分組成：激光電源、Nd、冷卻系統、聲光調制系統、振鏡掃描系統、指示光系統、準直聚焦系統、工作臺、計算機控制系統。

(1)激光電源:是激光泵浦源(氪燈或半導體激光二極管陣列)的電力提供系統。

(2)Nd:YAG激光器諧振腔系統:產生加工所需的連續激光束。

(3)冷卻系統:連接到冷水機的水管分別對聚光腔或半導體泵浦模塊、聲光Q驅動開關進行冷卻，使激光標刻機能更穩定、更高效地工作。

(4)聲光調制系統:將連續的激光調制成所需的高峰值脈沖激光(頻率為200Hz~50kHz),由于Q開關器件的插人損耗，激光器的平均輸出功率有所下降，但峰值功率大大提高，從而改善激光標刻的效果。

(5)振鏡掃描系統:包括光學掃描器和伺服控制兩個部分，是使激光按照預定軌跡運行的執行機構,它主要由高精度伺服電動機、電動機驅動板卡、反射鏡及直流電源組成。其作用是產生需標刻的點、線形式的字符或圖案。

(6)指示光系統:指示光為紅色光，安裝于光具座的后端。早期多用He Ne激光器作指示紅光光源，現多用紅光二二 極管激光器。指示光的主要作用是指示激光加工位置(與Nd:YAG激光同軸)和為光路調整提供指示基準。

(7)準直聚焦系統:固體激光標刻機先使用倒置望遠鏡系統進行準直擴束,然后用一種特殊的透鏡聚焦系統，稱為平場透鏡系統或F-0聚焦系統,對激光進行勻光和普通聚焦。

(8)工作臺:加工工件的承載臺。固體激光打標機工作臺一般為手動三維工作臺，若有圓柱或圓盤工件標刻要求，還可選配旋轉工作臺。